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联系威固特-蓝宝石衬底超声波清洗机-威固特超声波清洗机
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  • 起订量:2 套
  • 可售数量: 3 套
  • 支持批量采购
  • 发布时间:2019-10-12 16:13

产地:广东 深圳市 | 归属行业:其他

品牌:威固特

有效期至:长期有效

联系人: 唐先生 (女士) 

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联系地址:深圳市龙华新区大浪街道华昌路鸿源工业区E栋一楼

商铺网址: http://www.tygss.com/index.php?homepage=szweigute

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  • 供货总量:3 套
  • 发货期限:自买家付款之日起 35 天内发货
  • 所在地:广东 深圳市

     一、引言(学习蓝宝石衬底的用意及用处)

近二十年来,氮化镓基发光二极管取得了飞跃式发展,并实现了大规模的产业化生产。氮化镓基发光二极管由于其高效、节能、环保等优越性能,将取代现有的白炽灯、荧光灯、卤化灯等而成为主流的固态照明工具。

然而,同质外延生长所需的高质量GaN衬底的价格昂贵且远不能满足大规模生产的需求。现有的外延衬底大部分仍是蓝宝石,由于蓝宝石与GaN材料存在晶各失配和热失陪等缺点,这阻碍了GaN晶体质量的提高,从而导致了GaN的发光器件性能的进一步提高。大量研究表明,图形化蓝宝石衬底有利于降低晶体的位错密度和应力释放,从而大大改善GaN晶体的质量和GaN的发光器件性能。

二、蓝宝石衬底的常规清洗方法

在正常的室温下,有机溶剂超声清洗,以及加热条件下,丙酮浸泡。

实施本发明的蓝宝石衬底清洗方法,取消了传统清洗方法中使用的三氯乙烯试剂,减少了环境污染,避免人员中毒,在清洗过程中,使用超声波和加热清洗,可节省清洗时间,提高清洗效率和质量。工艺简单、操作方便,满足环保要求。

然而,使用超声波清洗机清洗蓝宝石衬底,是利用了超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。

三、蓝宝石衬底清洗用超声波设备类型中的光学超声波清洗机

深圳威固特VGT-1403FH为光学超声波清洗机,设备共有14个功能槽,配置有循环过滤系统、有机溶剂蒸馏回收系统、自动恒温系统、抛动系统、超声波清洗系统、抽风装置、环保液前处理系统、慢拉脱水、热风烘干等。设备采用环保型有机溶剂洗涤、水溶剂洗涤、纯水漂洗、离心烘干为环保型清洗机。是蓝宝石衬底在清洗设备上值得首要考虑的。

四、深圳威固特VGT-1403FH光学超声波清洗机的小部分结构配置是这此需了解的

热风烘干槽:

结构:每个烘干槽配置一套气缸

加热系统结构:

1、外置式不锈钢加热箱;

2、内设不锈钢加热管,功率12KW,配OMRON数显式温控系统,监控箱内热风温度,温控范围:~120℃。

FFU压风系统:

结构:在烘干槽正上方的机架顶部设置一个FFU层流送风单元。由上往下吹风形成负压风,致使工件加热后附着物不易粘附。

功能:因慢拉槽液温较高,如无顶部的FFU压风,大量的水汽将往上腾,水气会再次附着于提出的蓝宝石衬底上;安装FFU后,可在上方形成局部正压,大部分水气从缸面的抽气口抽走。

其实,也有很多对干净后的蓝宝石衬底样品选择进行旋转吹干处理。深圳威固特的甩干机的基本工艺操作流程简单概述下:

开机—参数设置—装入样品—启动,执行工艺流程—启动,执行工艺流程—过程结束,取出样品。


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